Материалы 28-й научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника»

УДК: 621.52
ISBN: 978-5-6044949-4-3
В сборник включены материалы докладов по научным направлениям 28-й научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника»:
  • физические явления в вакууме;
  • вакуумные системы и устройства;
  • специальное технологическое оборудование;
  • тонкопленочные покрытия и наноструктуры;
  • эмиссионные процессы и источники заряженных частиц в приборах и устройствах.
Материалы сборника представляют интерес для ученых и специалистов, работающих в области электронной техники и в отраслях народного хозяйства, где применяются вакуумные приборы и устройства. Также они могут быть полезными для студентов и аспирантов, обучающихся на соответствующих специальностях, в их научной и учебной деятельности.

Оглавление