Реализация удаленного доступа к вакуумному технологическому оборудованию

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрена вакуумная установка для нанесения тонких пленок в вакууме модульного типа с системой автоматического управления, встроенной в систему удаленного доступа. Разработаны методическое обеспечение для подготовки к выполнению лабораторных работ и виртуальный симулятор для овладения умением работы на установке.

Keywords:

Abstract

The vacuum installation for deposition of thin films with vacuum modular automatic control device built in the remote access system is viewed. The methodological support for the preparation of laboratory works and virtual simulator for mastering the ability to work with the installation are developed.