Материалы 13-й международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология»

УДК: 621.52
ISBN: n/a
В  настоящем  томе  публикуются  материалы  докладов  XIII Международной научно-технической  конференции  «Вакуумная  техника,  материалы  и  технология»  по  направлениям:
  • вакуумные  технологии  и  технологическое  оборудование; 
  • новые технологии формирования тонких пленок и методики их исследования;
  • нанотехнология и биотехнология; 
  • криогенная  и  криовакуумная  техника.
В  материалах  конференции приводятся новые результаты исследований.

Сборник  рассчитан  на  специалистов  в  области  вакуумной  техники,  криогенной техники  и  нанотехнологии.  Опубликованные  материалы  особенно  полезны  молодым ученым,  аспирантам  и  студентам  старших курсов,  специализирующимся  в  указанных направлениях.

Оглавление