Особенности сорбции - десорбции порошков и спеченных геттеров из сплава TIV30

Ключевые слова: ВАКУУМНЫЙ ПОСТ, МАССПЕКТРОМЕТР, СОРБЦИЯ, ДЕСОРБЦИЯ

Аннотация

Исследования сорбции - десорбции порошков и спеченных геттеров из сплава TiV30 проводилось на разработанной многофункциональной установке, включающей масспектрометр МИ-1201. При измерении десорбции температура образцов поднималась ступенчато, после падения давления при данной температуре. Из полученных графических зависимостей следует, что  газовыделение из порошка существенно  выше, чем из спеченного газопоглотителя. По полученным данным можно определить требования к вакуумной установке для изготовления геттеров и времени проведения техпроцесса. Скорость сорбции TiV30 геттеров при напуске 227 л•мтор водорода проводили по обычной методике: образец  активировали в камере из кварцевой  трубы  при температуре 500°С и давлении 4х10-5мм.рт.ст. в течении 30 минут, рабочий объем, в котором располагались образцы равнялся  3л. При измерении характеристик  масса порошка составляла 498 мг в лодочке с поверхностью 1,27 см2, а масса газопоглотителя 305 мг с поверхностью 4,33 см2. За первые 2с давление в камере с порошком TiV30 уменьшилось на 50%, а скорость сорбции составила  57 (л*мтор)/с. Через 30 с давление снизилось до 3.5% от исходного, а скорость составила 1.2 (л*мтор)/с. При тех же условиях скорость сорбции спеченного геттера изменилась от 54 (л*мтор)/с до 0,44 (л*мтор)/с. Приводятся данные по общему количеству поглощенного водорода  образцами  после нескольких циклов активации- напуска водорода  и  при разных температурах.

Keywords: VAKUUMNYY POST, MASSPEKTROMETR, SORBTSIYA, DESORBTSIYA

Abstract