Нейтрализация отработанных реагентов в технологии вакуумной обработки в микроэлектроники
Сажнев С.В., Дорофеев А.А., Авлякулиев Б.А.
Ключевые слова: ВАКУУМНАЯ ОБРАБОТКА, МОКРЫЕ СКРУББЕРЫ, ТЕРМИЧЕСКИЕ СКРУББЕРЫ, ПЛАЗМЕННЫЕ СКРУББЕРЫ, СКРУББЕРЫ ЭЛТОЧПРИБОР
Аннотация
«Мокрые» скрубберы позволяют нейтрализовать газы и реагенты хорошо растворимые в воде. Термический скруббер (СГЖТ) реализует технологию многоступенчатой нейтрализации – термическая деструкция с последующей «мокрой» абсорбцией. Эти два типа скрубберов позволяют нейтрализовать около 90% всех используемых газов. Оставшиеся 10% газов нейтрализуются с применением скрубберов плазменного типа.В работе рассмотрены схемы скрубберов и режимы их работы, приведены данные экспериментов на примере газа HCl. Показано, что эффективность улавливания газа составляет 99%, что позволяет достичь уровня выходящих из скруббера газов ниже предельно допустимой концентрации.
Приведены промышленные варианты скрубберов, выпускаемых ООО «ЭЛТОЧПРИБОР».
Neutralization of exhaust reagents in vacuum treatment technology in microelectronics
S.V.Sazhnev, A.A.Dorofeev, Avlyakuliyev B.A.
Keywords: VACUUM TREATMENT, WET SCRUBBERS, THERMAL SCRUBBERS, PLASMA SCRUBBERS, ELTOCHPRIBOR SCRUBBERS
