Влияние особенностей формирования порошковых распыляемых мишеней дисульфида молибдена на их газовыделение в вакууме
Беликов А.И., Ван Синьсинь , Илларионов А. И.
Ключевые слова: МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ПОРОШКОВАЯ МИШЕНЬ, РАСПЫЛЯЕМАЯ МИШЕНЬ, ДИСУЛЬФИД МОЛИБДЕНА, ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ
Аннотация
В качестве твердосмазочных и анти-схватывающих материалов для узлов трения и сочленяемых деталей, эксплуатируемых в вакууме и при высоких температурах, зачастую применяются тонкопленочные покрытия из дисульфида молибдена (MoS2). Формирование таких покрытий реализуется магнетронным распылением порошковых катодных мишеней. Одним из проблемных мест такой технологии является высокий поток газовыделения из мишеней, которые изготавливаются методами всестороннего прессования порошков дисульфида молибдена. Высокое газовыделение MoS2-мишеней увеличивает длительность технологического процесса нанесения покрытий и повышает газовые нагрузки на откачные системы оборудования, ухудшает качество и функциональные характеристики покрытий. Возможными путями решения этой проблемы являются использование распыляемых мишеней с более низкой сорбционной емкостью и снижение потока газовыделения из мишеней путем использования регламентированных условий хранения и эффективных процедур их подготовки к процессу распыления.В ходе выполнения работы из порошков дисульфида молибдена различных размерных фракций методом холодного прессования были изготовлены распыляемые мишени. Представлены методика, экспериментальная техника и результаты исследования газовыделения подготовленных мишеней. Исследована динамика газовыделения из мишеней в процессе их длительного нахождения в вакууме.
Influence of the formation conditions of the sputtered targets from molybdenum disulfide powder on their gas emission in vacuum
, X. Wang, A.I. Illarionov
Keywords: MAGNETRON SPUTTERING, POWDER TARGET, SPUTTER TARGET, MOLYBDENUM DISULFIDE, GAS EMISSION
