Эффективность работы вакуумного оборудования с электронно-лучевыми испарителями
Одиноков В.В.
Ключевые слова: ВАКУУМНОЕ КЛАСТЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ; КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ; ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, МЕТАЛЛИЗАЦИЯ.
Аннотация
электронно-лучевым испарителем (ЭЛИ) периодического действия и новой вакуумной установки с ЭЛИ полунепрерывного действия. Исследовано, что на новой установке цикловая производительность выше даже при загрузке меньшего количества подложек на групповом подложкодержателе. Вместе с тем существенно повышается выход годных интегральных микросхем.Главной отличительной особенностью новой вакуумной установки является наличие двух дополнительных вакуумных камер, соединенных с процессорной камерой через затворы. Одна камера выполняет функции шлюзовой камеры, в которой располагается магазин из двух подложкодержателей, а другая камера предназначена для размещения шести тигельного ЭЛИ.
Таким образом, обеспечивается загрузка и выгрузка групповых подложкодержателей в процессорную камеру и загрузка тиглей испаряемым материалом, расплавление и выход на режим испарения материала без влияния на вакуумную среду процессорной камеры.
Efficiency operation of vacuum equipment with electron-beam evaporators
Odinokov V.V.
Keywords: VACUUM CLUSTER EQUIPMENT; SILICON WAFERS; ELECTRON BEAM EVAPORATOR, METALLIZATION.
