Определение вакуумных свойств материалов в производстве ЭВП

Ключевые слова: ВАКУУМНЫЕ СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ, ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ, ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ, ДЕСОРБЦИЯ, ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ ИЗ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ

Аннотация

Одной из проблем современного производства электровакуумных приборов (ЭВП) является значительное количество газов и примесей, содержащихся в конструкционных материалах. Это связано с тем, что рынок электровакуумных приборов занял очень узкую нишу в экономике и производители материалов перестали ориентироваться на требования столь узкой отрасли. Газы, растворенные в металлах, активно десорбируются во время работы ЭВП, что приводит к ухудшению характеристик ЭВП или выходу их из строя. Также, интерес представляет исследование газовыделения из материалов катодов во время их активирования и работы. Для определения скорости газовыделения из конструкционных материалов ЭВП, а также, количества десорбируемого газа и его химический состав, исследования необходимо проводить на установке, в которой будут создаться условия, схожие с условиями внутри ЭВП во время его работы. В рабочем режиме материалы ЭВП подвергаются нагреву, электронной и ионной бомбардировкам, воздействию магнитного поля. Нагрев возникает за счет лучистой передачи тепловой энергии от разогретого катода деталям и за счет нагрева поверхностей электронным потоком. Методики определения вакуумных свойств материалов для производства ЭВП осуществляется с применением современной испытательной установки, оборудованной сухой откачкой, квадрупольным масс-анализатором 300 а.е.м., электронно-лучевой пушкой и возможностью подключения нагревателей. Установка оснащена оптическим спектрометром и пирометром для определения спектра излучения и температуры образца во время его нагрева. Проведение таких испытаний на стадии входного контроля материалов позволяет существенно сократить брак и технологические потери во время производства ЭВП.

Keywords: VACUUM PROPERTIES OF MATERIALS, ELECTRO-VACUUM DEVICES, GAS RELEASE, DESORPTION, GAS RELEASE FROM CATHODE MATERIALS

Abstract