Функциональные слои для гибких систем отображения информации
Абдуев А.Х., Асваров А.Ш., Генералов Д.В., Николаева Д.В., Беляев В.В., Саенко В.В., Сметанин Е.А.
Ключевые слова: ПРОЗРАЧНЫЕ ЭЛЕКТРОДЫ, ПОДВИЖНОСТЬ, АМОРФИЗАЦИЯ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ПРИМЕСЬ
Аннотация
Изучены основные тенденции и прогнозы создания нового поколения функциональных слоев для гибких устройств отображения информации. Рассмотрены оптимальные технологические методы формирования прозрачных электродов и диэлектрических слоев, а также перспективных альтернативных материалов для активноматричных структур ЖК (OLED) дисплеев. Изучены пути снижения себестоимости гибких компонентов большой площади на полимерных рулонных носителях.Одной из ключевых технологических задач формирования требуемых слоев при температурах синтеза в окрестностях 1000С является разработка новых материалов и технологий, свободных от классических пороков, сопровождающих традиционные магнетронные методы: наличие дефектных подслоев, наличие межзеренных границ с низкой воспроизводимостью тонкой структуры и стехиометрии границ, относительно большой рельеф поверхности слоев. Особое место уделено изучению перспектив создания функциональных аморфных (рентгеноаморфных) слоев и, в частности, слоев с модулированным легированием на основе коммерчески привлекательных материалов.
Работа была выполнена в рамках проекта РНФ № 22-19-00157.
Functional layers for flexible information display systems
Abduev A.Kh., Asvarov A. Sh., D.V.Generalov, D.V.Nikolaeva, V.V.Belyaev, V.V. Saenko, E.A. Smetanin
Keywords: TRANSPARENT ELECTRODES, MOBILITY, AMORPHIZATION, MAGNETRON SPUTTERING, IMPURITY
