Сверхвысоковакуумная откачка при температурах ниже комнатной
Панфилов Ю.В., Колесник Л.Л., Сокол М.Б., Тымина А.А.
Ключевые слова: ИЗОТЕРМЫ АДСОРБЦИИ, СВЕРХВЫСОКИЙ ВАКУУМ, ПАРЫ ВОДЫ, КРИОГЕННАЯ ТЕМПЕРАТУРА
Аннотация
Приведены результаты расчётов режимов сверхвысоковакуумной откачки паров воды в диапазоне температур 220–293 К. Показано влияние охлаждения вакуумной камеры на время откачки паров воды. Построены изотермы адсорбции Ленгмюра, БЭТ, Френдлиха для температур ниже комнатной.Ultrahigh vacuum pumping with below room temperayure
Panfilov U.V., Kolesnik L.L., M.B.Sokol, A.A. Tymina
Keywords: ADSORPTION ISOTHERMS, ULTRAHIGH VACUUM, WATER VAPOR, CRYOGEN TEMPERATURE
