Разработка микрофокусных рентгеновских трубок для неразрушаещего контроля микроэлектроники
Копытов Д.В., Ханбеков И.Ф., Потрахов Н.Н., Потрахов Е.Н.
Ключевые слова: РЕНТГЕНОВСКИЕ ТРУБКИ, ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ, ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ, МИКРОФОКУСНЫЕ РЕНТГЕНОВСКИЕ ТРУБКИ
Аннотация
Широко известно применение микрофокусных рентгеновских трубок в области неразрушающего контроля. В настоящее время отечественная промышленность активно осваивает производство микроэлектроники. Для контроля качества продукции, в основном, применяются аппараты с импортными рентгеновскими трубками, не имеющими отечественных аналогов.Для обеспечения технологического суверенитета Росси ведется разработка отечественной микрофокусной рентгеновской трубки в составе комплексированного моноблока. Рабочее напряжение трубки находится в интервале 20-100 кВ, фокусное пятно 5-10мкм, максимальная мощность – 15 Вт. Трубка оснащена медным массивным анодом с наклонной вольфрамовой мишенью. Вывод энергии осуществляется через бериллиевое окно.
Разработка предполагает решение ряда технологических задач: разработка керамического высоковольтного изолятора на 150 кВ, разработка микрофокусной электронно-лучевой пушки с диаметром пучка 5-10мкм, разработка технологии производства изделия и построение опытного и серийного производства. Также, для реализации проекта ведется разработка отечественного высоковольтного источника постоянного напряжения.
Development of microfocus x-ray tubes for non-destructive testing of microelectronics
D.V.Kopytov, I.F.Khanbekov, N.N. Potrakhov, E.N. Potrakhov
Keywords: X-RAY TUBES, ELECTRO-VACUUM DEVICES, TECHNOLOGY OF PRODUCTION OF ELECTRO-VACUUM DEVICES, MICROFOCUS X-RAY TUBES
