Исследование свойств металлических островковых тонких пленок для применения в изделиях наноэлектроники

Ключевые слова: островковые пленки, тонкопленочные покрытия, многослойные островковые структуры, магнитные датчики, магнетосопротивление, прыжковая проводимость, туннелирование

Аннотация

Представлены стадии формирования тонкопленочных покрытий, основы физических процессов, магнитные и электрические эффекты, наблюдаемые в островковых тонких пленках. Проанализирована зависимость тока от времени формирования пленки и теория образования вторичного островкового слоя.

Keywords: insular films, thin-film coatings, multilayer insular structures, magnetic sensors, magnetoresistance, hopping conductivity, tunneling

Abstract

The stages of formation of thin-film coatings, the basics of physical processes, magnetic and electrical effects observed in insular thin films are presented. The dependence of the current on the time of film formation and the theory of secondary island layer formation are analyzed.