Особенности технологии ионно-лучевого нанесения многослойных оптических покрытий для резонаторов инжекционных лазеров

Ключевые слова: ионно-лучевое нанесение, коэффициенты преломления, оптические покрытия, инжекционные лазеры

Аннотация

Работа посвящена созданию технологии получения оптических покрытий для резонаторов инжекционных лазеров на установке ионно-лучевого нанесения. Для требуемых коэффициентов отражения на торцах резонаторов спроектированы оптические покрытия, и отработаны режимы нанесения составляющих их диэлектрических слоев. Отработка режимов нанесения заключалась в определении оптимальных параметров ионного луча, соотношений расходов газа-источника ионов и газа-реагента и температуры подложки. Расчет спектральных характеристик высокоотражающих и просветляющих покрытий, полученных на основании предложенных конструкций и экспериментальных значений коэффициентов преломления диэлектрических слоев, свидетельствует о достижении необходимых коэффициентов отражения на торцах резонаторов инжекционных лазеров.

Keywords: ion-beam deposition, refractive indices, optical coatings, injection lasers

Abstract

The work is devoted to the creation of a technology for obtaining optical coatings for injection lasers cavities on an ion-beam deposition facility. The constructions of optical coatings have been designed to meet the requirements for facets reflection coefficients and dielectric layers deposition modes have been determined. The development of the deposition modes consisted in determining the optimal parameters of the ion beam, the ratio of the flow rates of the ion-source gas and the reagent gas, and the substrate temperature. The calculation of the spectral characteristics of high-reflection and anti-reflection coatings obtained on the basis of the proposed designs and the experimental values of the dielectric layers refractive indices indicates that the required reflection coefficients for injection lasers cavities have been achieved.