Изготовление лазерных мишеней методами вакуумного нанесения покрытий
Арефьев А.И., Пешкичева Л. Е. , Юрченко О. С., Гусс Л. Е. , Котов А. П. , Горнов В.Н., Савельев А.В.
Ключевые слова: технология, лазерные мишени, лазерный импульс, вакуумное напыление, тугоплавкие материалы, тонкие пленки, исследование материалов и покрытий
Аннотация
В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных тонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.Fabrication of laser targets by vacuum coating
A.I. Arefev, L.E. Peshkicheva, O.S. Yurchenko, L.E. Guss, A.P. Kotov, Gornov V.N., Savelyev A.V.
Keywords: technology, laser targets, laser pulse, vacuum deposition, refractory materials, thin films, investigation of materials and coatings
