Моделирование процессов теплопередачи магнетронной распылительной системы

Ключевые слова: магнетронное распыление, теплопередача, моделирование тепловых процессов

Аннотация

В статье описано моделирование процессов теплопередачи малогабаритной магнетронной распылительной системы. Приводится описание проблемы эффективного теплоотвода. Представлены результаты моделирования тепловых процессов.

Keywords: magnetron sputtering, heat transfer, heat transfer modeling, comsol multiphysics

Abstract

The paper describes heat transfer modeling of magnetron sputtering unit. A description of the effective heat removal issue is given. The results of heat transfer modeling are given.