Применение модели Черчиньяни-Лампис для математического моделирования процесса течения газа в проточной части турбомолекулярного насоса

Ключевые слова: математическое моделирование, турбомолекулярные вакуумные насосы, метод монте-карло, динамика разреженного газа, модели взаимодействия газа с поверхностью, модель максвелла, модель черчиньяни-лампис

Аннотация

В данной работе модель Черчиньяни-Лампис (ЧЛ) использовалась в качестве новых граничных условий при расчете вероятности перехода молекул через одну ступень турбомолекулярного вакуумного насоса (ТВН) методом Монте-Карло. Произведен расчет вероятности перехода молекул через лопаточный канал в прямом и обратном направлениях, результирующей вероятности перехода, степени повышения давления.

Keywords: mathematical modelling, turbo molecular vacuum pumps, monte-carlo method, rarefied gas dynamics, gas-surface interaction models, maxwell model, cercignani-lampis model

Abstract

In this paper, the Cercignani-Lampis (CL) model was used as new boundary conditions for calculating the molecules’ transition probability through one stage of the turbomolecular vacuum pump (TMP) by using Direct Simulation Monte Carlo method. The molecules’ transition probability through the blade channel in the forward and reverse directions, the resulting transition probability and the compression ratio were calculated.