Cистема активной виброизоляции для прецезионного высоковакуумного оборудования

Михайлов В.П., Копылов А.А., Казаков А.В.
Ключевые слова: система активной виброизоляции, высоковакуумное оборудование, магнитореологический эластомер, замкнутая система управления, коэффициент передачи амплитуды виброперемещений

Аннотация

Дано описание системы активной виброизоляции на основе магнитореологических (МР) эластомеров для прецизионного высоковакуумного оборудования. Представлены результаты экспериментальных исследований системы активной виброизоляции и определены коэффициенты передачи амплитуды виброперемещений в низкочастотном диапазоне.

Active vibration isolation system for precision high vacuum equipment

Mikhailov V.P., Kopylov A.A., Kazakov A.V.
Keywords: active vibration isolation system, high vacuum equipment, magnetorheological elastomer, closed-loop control system, transmission coefficient of vibration displacement amplitude

Abstract

A description of an active vibration isolation system based on magnetorheological (MR) elastomers for precision high-vacuum equipment is given. The results of experimental studies of the active vibration isolation system are presented and the transmission coefficients of the amplitude of vibration displacements in the low-frequency range are determined.