Электростатическая зарядка проводящих мишеней в низкотемпературной сильнонеравновесной плазме пониженного давления

Ключевые слова: электронно-пучковая плазма, электростатическая зарядка тел в плазме.

Аннотация

Рассмотрены физические процессы, протекающие при взаимодействии сильнонеравновесной электронно-пучковой плазмы, генерируемой при пониженном давлении, с макроскопическими проводящими объектами, расположенными внутри контейнера, находящегося в реакционном объеме.

Keywords: electron-beam plasma, electrostatic charging of bodies in plasma

Abstract

Physical processes occurring during the interaction of a strongly non-equilibrium low-pressure generated electron-beam plasma with macroscopic objects inserted in a reaction volume are considered.