Получение различных структур методом быстрой термической обработки

Ключевые слова: быстрая термическая обработка, БТО, тонкие плёнки

Аннотация

В работе рассмотрены различные структуры, получаемые методом быстрой термической обработки (БТО). Описаны процессы их получения, необходимые температурные режимы, особенности физико-химических превращений. Выделены температурные зоны БТО, проведена оценка требуемых мощностных характеристик нагревательного устройства для получения заданной температуры.

Keywords: Rapid Thermal Processing. RTP, thin films

Abstract

This article discusses various structures produced by Rapid Thermal Processing (RTP).The processes of their preparation, the required temperature conditions, and the features of physical and chemical transformations are described.The temperature zones of the RTP are identified, and the required power characteristics of the heating device are assessed to obtain the given temperature.