Островковый тонкоплёночный конденсатор

Ключевые слова: тонкоплёночный конденсатор, островковый конденсатор, тонкая плёнка, наноструктура, островковая тонкая плёнка, островковая наноструктура, электрическая проводимость, туннельный эффект, модель.

Аннотация

Проведен технологический анализ конденсатора, с проводящим слоем островковых тонких плёнок на обкладках. Представлены результаты моделирования электрических характеристик островкового конденсатора в среде ComsolMPh. Построена математическая модель зависимости сопротивления островковых тонких пленок алюминия от входных параметров – скорости осаждения, тока на испарителе и времени формирования.

Keywords: thin film capacitor, islet capacitor, thin film, nanostructure, islet thin film, islet nanostructure, electrical conductivity, tunneling effect, model.

Abstract

A technological analysis of a capacitor with a conductive layer of islet thin films on the plates has been carried out. The results of the electrical characteristics modeling of an islet capacitor in the ComsolMPh environment are presented. A mathematical model for the dependence of the resistance of islet thin aluminum films on the input parameters (deposition rate, current on the evaporator and formation time) is constructed.