Влияние ионной обработки на электрические и топологические характеристики поверхностей

Ключевые слова: технологический модуль, шероховатость поверхности, источник ионов.

Аннотация

Описывается технологический модуль подготовки подложек и материально-техническая база проведения экспериментальных исследований. Изучается сопротивление и шероховатость поверхности проводящей подложки и диэлектрических покрытий с предварительной обработкой источником ионов и без обработки.

Keywords: technological module, roughness of the surface, ion source.

Abstract

The technological module – an ion source (IS) for the preparation of substrates and the technical base of experimental research are described. The resistance and roughness of the surface of the conductive substrate and dielectric coatings are studied with and without preliminary treatment with an IS.