Исследование теплового мэмс-сенсора массового расхода газа

Ключевые слова: массовый расход газа, тепловой МЭМС-сенсор, поток газа, выделение и обработка сигнала.

Аннотация

По результатам исследований теплового сенсора массового расхода газа показано, что при различных схемах аналоговой обработки его сигнала можно добиться уникально высокой чувствительности и совмещения измерения перепада температур на фронте и спаде и падения температуры нагревателя в одном сигнале.

Keywords: mass gas flow rate, thermal MEMS sensor, gas flow, signal extraction and processing.

Abstract

The results of the studies of the thermal sensor of the mass flow rate of gas have shown that with various analogue signal processing circuits it is possible to achieve uniquely high sensitivity and combining the measurement of the temperature difference at the front and the decline and the temperature drop of the heater in one signal.