Вакуумные методы синтеза функциональных слоев прозрачной электроники

Ключевые слова: прозрачная электроника, магнетронное распыление, прозрачные проводящие слои, прозрачные проводящие оксиды, активно-матричные структуры

Аннотация

Рассмотрены основные тенденции развития вакуумных технологий синтеза функциональных слоев для прозрачной электроники. Особое внимание в статье уделено возрастающим потребностям индустрии в разработке низкотемпературных технологий синтеза функциональных слоев на органических носителях. Выполненный анализ показывает, что создание низкотемпературных технологий синтеза слоев без потери их качества требует реализации принципиально новых решений. На основании выполненных исследований сделаны прогнозы развития данного направления.

Keywords: transparent electronics, magnetron sputtering, transparent conducting films, transparent conducting oxides, active matrix structures.

Abstract

The main trends in the development of vacuum technologies for the deposition of functional layers for transparent electronics are considered. Particular attention is paid to the growing needs of the industry in the development of technologies for the low-temperature deposition of functional layers on organic substrates.The performed review of the current state shows that fundamentally new solutions are required for low-temperature technologies of obtaining functional layers with the same quality. Based on the studies performed, forecasts of the further development of technologies in this area are made.