Модернизация проекта малогабаритной лабораторной установки магнетронного распыления
Колесник Л.Л., Шоничев И.Д, Серопян С.С.
Ключевые слова: магнетронное распыление, малогабаритная установка
Аннотация
В статье представлен проект малогабаритной установки магнетронного распыления. Приводятся конструкторские решения, внесенные в проект с целью повешения эргономичности эксплуатации и обслуживания установки. Описано применение системы автоматизированного проектирования.Design revision of compact magnetron sputtering facility
Kolesnik L.L., I.D. Shonichev, S.S.Seropyan
Keywords: magnetron sputtering, compact sputtering system
