Нейтрализация выбросов технологического оборудования в микроэлектронном и вакуумном производствах с использованием жидкостного скруббера

Ключевые слова: скруббер, нейтрализация, предельно допустимая концентрация, технологические газы

Аннотация

Работа посвящена исследованию разработанного жидкостного скруббера для нейтрализации вредных газов, используемых в технологических процессах. Теоретически определено максимальное количество хлора, поглощаемое скруббером. Проведены экспериментальные исследования по поглощению скруббером основных реагентов до уровня предельно допустимых концентраций.

Keywords: scrubber, neutralization, maximum permissible concentration, process gases.

Abstract

The work is devoted to the study of the developed liquid scrubber for neutralizing harmful gases used in technological processes. The maximum amount of chlorine absorbed by the scrubber is theoretically determined. Experimental studies were carried out on the absorption of the main reagents by the scrubber to the level of maximum permissible concentrations