Вакуумные пульсирующие течи

Ключевые слова: вакуумные течи, течеискание, пульсирующие течи.

Аннотация

Представлены методы диагностики параметров технологического процесса нанесения покрытия такие как, гелиевое течеискание, оптически-эмиссионная спектроскопия и анализ остаточных газов. Установлены причины брака декоративных покрытий. Обнаружен эффект «пульсирующей течи» - течи с непредсказуемой периодичностью.

Keywords: vacuum leaks, leak detection, pulsating leaks

Abstract

Methods for diagnostics of the technological process parameters of coating deposition, such as helium leak detection, optical emission spectroscopy and analysis of residual gases, are presented. The reasons for the defect in decorative coatings are established. The effect of "pulsating leak" was detected - leaks with an unpredictable frequency.