Проводимость каналов роторного механизма двухроторного вакуумного насоса типа рутс при молекулярном режиме течения газа

Ключевые слова: двухроторный насос, перетекания газа, проводимость каналов, молекулярный режим.

Аннотация

С помощью метода угловых коэффициентов, реализованного в пакете COMSOLMultiphysics, рассчитана суммарная проводимость щелевых каналов роторного механизма двухроторного вакуумного насоса типа Рутс. Проведено сравнение полученных расчетных данных с экспериментальными значениями, полученными путем продувки насоса ДВН-50 при различных углах поворота роторов. Отмечается достаточно хорошая сходимость результатов расчета и эксперимента.

Keywords: roots pump, gas flow, channels conductivity, molecular regime.

Abstract

Using the method of the angular coefficients implemented in COMSOL Multiphysics total conductivity of the slotted channels by rotary mechanism of Roots type vacuum pump is calculated. The calculated data are compared with the experimental values obtained by blowing the DVN-50 pump at different rotor rotation angles. The good convergence of calculated and experimental results is observed.