Исследование спектров поглощения фторуглеродных покрытий, полученных при помощи нч-плазмотрона атмосферного давления
Елинсон В.М., Шведов А.В. , Кузькин В.И., Мурныкина В.В.
Ключевые слова: низкотемпературная плазма, дуговой газовый разряд атмосферного давления, фторуглеродное покрытие, плазменная обработка, спектры поглощения, химический состав.
Аннотация
В работе представлены результаты исследования спектров поглощения фторуглеродных покрытий, полученных при помощи низкочастотного плазмотрона низкотемпературной плазмы атмосферного давления. Рассмотрены амплитуды пиков поглощения и установлен химический состав покрытий. Определена ширина запрещённой зоны по методу Тауца.Investigation of the absorption spectra of fluorocarbon coatings obtained by using a lf-plasmotronat atmospheric pressure
Elinson V.M., A.V. Shvedov, V.I.Kuzkin, V.V.Murnykina
Keywords: low temperature plasma, atmospheric pressure arc discharge, fluorocarbon coating, plasma treatment, absorption spectra, chemical composition