Физико-химические свойства углеродных и фторуглеродных покрытий, полученных осаждением из газовой фазы при атмосферном давлении в динамическом режиме нанесения

Ключевые слова: газовые разряды атмосферного давления, плазмотрон, осаждение из газовой фазы, обработка, низкотемпературная плазма, углеродные и фторуглеродные покрытия, полимерные материалы, контактный угол смачивания, АСМ.

Аннотация

В работе показана возможность формирования углеродных и фторуглеродных покрытий в непрерывном (динамическом) режиме осаждения из газовой фазы при атмосферном давлении с использованием низкочастотного плазмотрона низкотемпературной плазмы. Установлен контактный угол смачивания полученных покрытий и проведено исследование с помощью АСМ.

Keywords: gas discharges at atmospheric pressure, plasmatron, plasma-enhanced chemical vapor deposition, treatment, low temperature plasma, carbon and fluorocarbon coatings, polymer materials, contact wetting angle, AFM.

Abstract

The paper demonstrates the possibility of formation of carbon and fluorocarbon coatings in a continuous (dynamic) mode of PECVD at atmospheric pressure using a low-frequency plasmatron of low-temperature plasma. The contact angle of wetting of the obtained coatings was established and the study was carried out using AFM.