Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления

Ключевые слова: тонкопленочные датчики, особенности формирования, слои

Аннотация

В работе рассмотрена актуальность использования тонкопленочных датчиков различного назначения. Проведен анализ этапов для реализации технологии по созданию датчика. Обоснован выбор материалов элементов датчика. Экспериментальные исследования отражают появление проблем в характеристиках диэлектрических покрытий – низкого значения сопротивления. Рассмотрены и предложены методы борьбы с низким значением сопротивления диэлектрических покрытий.

Keywords: thin-film sensors, formation features, layers

Abstract

The paper considers the relevance of using thin-film sensors for various purposes. The analysis of the stages for the implementation of the technology for the creation of the sensor is fulfilled. The choice of materials for the sensor elements is substantiated. Experimental studies reflect the emergence of problems in the characteristics of dielectric coatings - low resistance values. Methods for dealing with the low resistance value of dielectric coatings are considered and proposed.