Упрочняющие углеродные алмазные и алмазоподобные покрытия

Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, газофазное осаждение, сепарированная плазма дугового разряда, коэффициент трения, твердость, износостойкость

Аннотация

Проанализированы методы химического и физического осаждения углеродных алмазных и алмазоподобных покрытий на режущий инструмент и детали машин. Описаны структура и состав покрытий, определяющие их твердость, коэффициент трения и износостойкость. Показаны пути развития упрочняющих углеродных покрытий.

Keywords: diamond like coating, chemical vapor deposition, vacuum-arc filtered plasma, hardness, friction coefficient, wear resistance

Abstract

Methods of chemical and physical deposition of diamond like carbon coatings on cutting tools and machine parts were analyzed. Composition and structure of coatings and their hardness, friction coefficient and wear resistance were described. Development way of strengthening carbon coatings was shown.