Активная виброизоляция высоковакуумного оборудования
Михайлов В.П., Копылов А.А., Казаков А.В. , Товмаченко Д.К.
Ключевые слова: платформа для активной виброизоляции, высокоточный привод, высоковакуумное оборудование, магнитореологический эластомер, замкнутая система управления, коэффициент передачи амплитуды виброперемещений
Аннотация
Дано описание устройства и принципа работы активной виброизолирующей платформы на основе магнитореологического (МР) эластомера для высоковакуумного оборудования. Представлены результаты экспериментальных исследований привода платформы в режиме активной виброизоляции и определен коэффициент передачи амплитуды виброперемещений.Active vibration isolation of high vacuum equipment
Mikhailov V.P., Kopylov A.A., Kazakov A.V. , D. K. Tovmachenko
Keywords: platform for active vibration isolation, high-precision drive, high vacuum equipment, magnetorheological elastomer, closed-loop control system, transmission coefficient of vibration displacement amplitude.
