Аттестация испытательного оборудования при испытаниях на герметичность масс-спектрометрическим методом

Ключевые слова: аттестация испытательного оборудования, течеискатель масс-спектрометрический гелиевый, вакуум, метрология

Аннотация

Представлены основные причины проведения процедуры аттестации испытательного оборудования. Приводятся основные этапы аттестации испытательного оборудования (стенда для контроля герметичности на основе течеискателя масс-спектрометрического гелиевого).

Keywords: verification of testing equipment, mass spectrometric helium leak detector, vacuum, metrology.

Abstract

The main reasons for the procedure for the verification of testing equipment are presented. The main stages of verification of testing equipment (a test bench for tightness control based on a mass spectrometric helium leak detector) are given.