Определение температуры катодно-подогревательных узлов в составе электронных вакуумных приборов и электронно-лучевого технологического оборудования
Королев С.В.
Ключевые слова:
Аннотация
Рассматривается бесконтактный метод измерения температуры катодов в составе приборов. Метод связан с определением спектра распределения эмиссионной неоднородности и измерением его смещения по шкале работы выхода при изменении температуры по сравнению с исходной.Determination of temperature of cathode-heating units as a part of electronic vacuum devices and electron-beam processing equipment.
S.V. Korolev
Keywords: