Исследование режимов формирования металлических покрытий на керамических подложках

Ключевые слова:

Аннотация

В этой работе рассмотрены температурные режимы нанесения подслоя титана относительно мишени. Были определены шероховатости покрытий и адгезионную прочность при выбранных режимах. Была проведена серия экспериментов с различными положениями подложки и максимальным и минимальным расстоянием между подложкой и мишенью для предотвращения разрушения подложки при осаждении с горячей мишенью, что необходимо ограничивать тепловой эффект на нее.

Keywords:

Abstract

The temperature modes of titanium sublayer deposition relative to the target are considered. The roughness of the coatings and the adhesion strength for the selected modes was determined. A series of experiments was carried out with different substrate positions and the maximum and minimum distance between the substrate and the target to prevent substrate destruction during hot target deposition, which should limit the thermal effect on it.