Нанесение пленок нитрида титана для многослойных теплозащитных покрытий и исследование их свойств

Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлено исследование пленок нитрида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления в среде аргона и азота на стеклянных подложках. Изучено влияние потока реактивного газа на формирование пленок нитрида титана и характеристики многослойных теплозащитных покрытий.

Keywords:

Abstract

The paper presents a study of titanium nitride films obtained by reactive magnetron sputtering in argon and nitrogen on glass substrates. The effect of the reaction gas flow on the formation of titanium nitride films and the characteristics of multilayer heat-shielding coatings are studied.