Получение нанокомпозитных структур при магнетронном осаждении материала на коллоидные пленки кремнезема и исследование их свойств

Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлено исследование нанокомпозитных структур, полученных методом магнетронного распыления титана на темплат, сформированный в процессе осаждения коллоидных частиц кремнезема на стеклянные и ситалловые  подложки. Изучено  влияние мощности и времени распыления на формирование нанокомпозитных структур. Выявлены особенности процессов роста металлической пленки на опаловой матрице и внедрения металла в ее структуру.

Keywords:

Abstract

The paper presents a study of nano-composite structures obtained by magnetron sputtering of titanium on a template formed during the deposition of colloidal silica particles on glass and Sitall substrates. The influence of power and time of spraying on the formation of nano-composite structures is studied. Features of processes of a metal film growth on an opal matrix and introduction of metal in its structure are revealed.