Возможности электронно-лучевой установки «ЛУЧ» для размерной микрообработки стекла и керамических материалов
Панфилов Ю.В., Колесник Л.Л., Моисеев К.М., Чжо Я., Лян М.
Ключевые слова:
Аннотация
В статье представлены современные применения и преимущества электронно-лучевой технологии в обработке стекла и керамических материалов. Рассмотрена конструкция и технологические возможности вакуумной установки «ЛУЧ» для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной микрообработки электровакуумного стекла и керамических материалов, в том числе LTCC керамики.Possibilities of the electron-beam machine «LUCH» for dimensional microprocessing of glass and ceramic materials.
Panfilov U.V., Kolesnik L.L., Moiseev K.M., Y.Zhuo, M. Liang
Keywords: