Проблемы метода ионно-плазменного распыления цветных металлов на установке УВН-1М

Ключевые слова:

Аннотация

Показана актуальность использования источников альтернативной энергетики – солнечных фотоэлементов (СФЭ). Изучены методы формирования нижнего слоя проводящего электрода СФЭ. Выявлены проблемы при работе методом ионно-плазменного распыления. Предложена конструкторская модернизация установки для нивелирования проблем ухудшающих качества получаемых покрытий. Изготовлена внутрикамерная оснастка. Проведена пуско-наладка модуля на установке УВН-1М.

Keywords:

Abstract

The urgency of using alternative energy sources - solar cells (SC) is shown. The methods of forming the lower layer of the SC conductive electrode are studied. Problems of using the method of ion-plasma sputtering are identified. A design upgrade of the installation for leveling problems impairing the quality of the coatings is proposed. Equipment for vacuum camera is made. The module on the vacuum unitUVN-1M is implemented.