Получение пьезоэлектрических пленок AlN реактивным ВЧ-магнетронным распылением

Ключевые слова:

Аннотация

Представлены условия получения текстурированных пленок AlN на подложках различных материалов методом реактивного ВЧ-магнетронного распыления. Электронной микроскопией, рентгеновской дифрактометрией, энергетической дисперионной спектроскопией и спектроскопией комбинационного рассеяния света показано влияние условий получения на строение пленок. Представлены результаты использования пленок AlN в качестве пьезоэлектрического слоя устройств на поверхностных акустических волнах. Показана возможность контроля пьезоэлектрической эффективности пленок AlN по спектрам комбинационного рассеяния света.

Keywords:

Abstract

The conditions for obtaining textured AlN films on substrates of various materials by the method of reactive HF-magnetron sputtering are presented. Electron microscopy, X-ray diffractometry, energy dispersion spectroscopy and Raman spectroscopy have shown the effect of the preparation conditions on the film structures. The results of using AlN films as a piezoelectric layer of devices based on surface acoustic waves are presented. The possibility of controlling the piezoelectric efficiency of AlN films by Raman spectra is shown.