Метрологическое обеспечение мер потока газа в вакууме

Фомин Д.М.
Ключевые слова:

Аннотация

В статье рассматриваются принципы работы мер потока газа в вакууме, метрологическое обеспечение и основные проблемы, возникающие при эксплуатации.

Metrological support of test leaks in vacuum.

Keywords:

Abstract

The article discusses work principles of test leaks in vacuum, metrological support and main problems arising during operation.