Метрологическое обеспечение мер потока газа в вакууме
Фомин Д.М.
Ключевые слова:
Аннотация
В статье рассматриваются принципы работы мер потока газа в вакууме, метрологическое обеспечение и основные проблемы, возникающие при эксплуатации.Metrological support of test leaks in vacuum.
Keywords:
