Разработка и исследования вакуумметров с чувствительными элементами, изготовленными по технологии МЭМС
Тетерук Р.А., Кувандыков Р.Э.
Ключевые слова:
Аннотация
Статья посвящена разработке чувствительных элементов, преобразователей и вакуумметров, созданных по технологии МЭМС и предназначенных для измерений абсолютного давления в широком диапазоне от 10-3 до 105 Па.Development and researches of MEMS vacuum gauges.
R.A.Teteruk, R.E. Kuvandykov
Keywords: