Разработка и исследования вакуумметров с чувствительными элементами, изготовленными по технологии МЭМС

Тетерук Р.А., Кувандыков Р.Э.
Ключевые слова:

Аннотация

Статья посвящена разработке чувствительных элементов, преобразователей и вакуумметров, созданных по технологии МЭМС и предназначенных для измерений абсолютного давления в широком диапазоне от 10-3 до 105 Па.

Development and researches of MEMS vacuum gauges.

R.A.Teteruk, R.E. Kuvandykov
Keywords:

Abstract

The article is devoted to the development and research of sensitive elements, transducers and vacuum gauges created by MEMS technology and intended for absolute pressure measuring in a wide range from 10-3 to 105 Pa.