Разработка метода расчета основных параметров турбомолекулярного вакуумного насоса с комбинированной проточной частью

Ключевые слова:

Аннотация

Разработан метод расчета молекулярной ступени турбомолекулярного вакуумного насоса при работе в молекулярном режиме течения газа. Разработан метод расчета основных параметров ТВН с комбинированной проточной частью, обеспечивающей основные откачные характеристики, в том числе предельное остаточное давление, быстроту действия насоса и степень повышения давления. Построена откачная характеристика насоса с комбинированной проточной частью.

Keywords:

Abstract

A calculation method of the molecular stage of the turbomolecular vacuum pump (TMP) operating in the molecular flow region is developed. The calculation method of the main parameters of the multistage TMP to provide the main pumping parameters including ultimate pressure, pumping speed, compression ratio is also developed. As a result of calculation the performance curve of the multistage TMP is obtained.