Параметры рельефа наноструктурированных фторуглеродных барьерных слоев, сформированных из газовой смеси C4F8 + C6H12,на поверхности ПЭТФ

Ключевые слова:

Аннотация

В работе приводится сравнительный анализ параметров рельефа (Rq) наноструктурированных фторуглеродных поверхностей, сформированных на поверхности ПЭТФ из плазмообразующих смесей CF4+C6H12 и C4F8+C6H12. Измерение параметров рельефа проводилось с помощью сканирующего зондового микроскопа SolverNext (NTMDT,г. Зеленоград) с АСМ головкой. Было установлено исходя из анализа скоростей нанесения фторуглеродного покрытия с помощью микроскопа МИИ-4 наличие области переходных процессов при использовании плазмообразующей смеси C4F8 + C6H12. Был обнаружен специфический рельеф в области переходных процессов при использовании газовой смеси C4F8+C6H12, который сопровождается стойкостью к плесневым грибам.

Keywords:

Abstract

The paper compares the relief parameters (Rq) of nanostructured fluorocarbon surfaces formed on the surface of PET from the plasma-forming mixtures CF4 + C6H12 and C4F8 + C6H12. The measurement of the relief parameters was carried out using a scanning probe microscope Solver Next (NT MDT) with an AFM head. The analysis of the fluorocarbon coating deposition rates with the help of the microscope MII-4 revealed the presence of the transient process region by usage of the plasma-forming mixture C4F8 + C6H12. A specific relief in the field of transient processes was observed while using the gas mixture C4F8 + C6H12, which is accompanied by resistance to mold fungi.