Исследование поверхностных характеристик углеродных плёнок, полученных при помощи НЧ плазматрона атмосферного давления в матричном режиме нанесения

Ключевые слова:

Аннотация

В настоящей работе представлены результаты исследования поверхностных характеристик углеродных покрытий, полученных при помощи низкочастотного плазматрона атмосферного давления. Описан процесс матричного режима обработки поверхности подложек. Исследовано влияние технологических параметров осаждения из газовой фазы в матричном режиме на свойства формируемых покрытий. Исследованы контактные углы смачивания полученных покрытий при помощи микроскопа с гониометрической подставкой, а также шероховатость при использовании атомно силовой микроскопии.

Keywords:

Abstract

The surface properties of carbon coatings produced by low frequency plasmatron at atmospheric pressure are studied. The process of the matrix mode of substrate surface treatment is described. The influence of technological parameters of matrix mode CVD of carbon coatings is studied. The contact angle of wetting and the roughness of obtained coatings are investigated by using a microscope with a goniometer stand and an AFM.