Исследование процесса формирования композиции функциональных и жертвенных тонкопленочных слоев

Ключевые слова:

Аннотация

Композиции функциональных и жертвенных тонкопленочных слоев используются при формировании микроэлектромеханических устройств и в исследованиях тонких пленок. В работе представлен анализ соответствующих технологий. Рассмотрены используемые в качестве жертвенных слоев материалы. Приведены результаты экспериментальных исследований процесса получения названных композиций.

Keywords:

Abstract

The compositions of functional and sacrificial thin-film layers are used in the formation of micro-electromechanical devices and in the thin films research. The paper presents the analysis of relevant technologies. The materials used as sacrificial layers are considered. The results of experimental studies of the process of obtaining these compositions are presented.