Микрофлюидные чипы: перспективы, проблемы, материалы и исследования

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрены и проанализированы методы получения электропроводящего слоя в структуре микрофлюидного чипа. Проанализированы материалы основания и электропроводящего слоя. Приведены результаты эксперимента по нанесению проводящего медного слоя и построена математическая модель зависимости толщины слоя меди от параметров технологического процесса.

Keywords:

Abstract

The methods of obtaining an electro-conductive layer in the microfluidic chip structure are considered and analyzed. The base and conductive layer materials are analyzed. The results of the experiment on the application of a conductive copper layer and a mathematical model of the copper layer thickness dependence on the process parameters are given.