Стенд контроля начальных стадий роста металлических островковых тонких пленок и наноструктур и отработка режимов их формирования

Ключевые слова:

Аннотация

Приведены области применения и преимущества использования островковых тонких пленок и наноструктур для областей науки и техники. Для контроля начальных стадий роста тонкопленочных покрытий организован стенд, представлены базовые экспериментальные исследования. Проведена отработка режимов формирования тонкопленочных покрытий. Построена математическая модель зависимости геометрических параметров пленки от параметров процесса.

Keywords:

Abstract

The application and advantages fields of the island thin films use and nanostructures for science and technology are presented. RND tool for investigation of initial phases of metal island thin films and nanostructures growth is created, basic experimental studies are presented. Thin-film coatings formation mode testing was carried out. The math model of film geometrical parameters dependence on process parameters is constructed.