Получение тонкопленочных покрытий AlN методом дугового осаждения в вакууме и исследование их свойств

Ключевые слова:

Аннотация

Приведены возможные области применения покрытий нитрида алюминия. Кратко рассмотрены методы получения тонкопленочных покрытий AlN и оборудование, позволяющее получить данные покрытия методом дугового осаждения в вакууме. Проведены эксперименты по получению этих покрытий. Оценены значения коэффициентов пропускания на различных длинах волн и для различных толщин пленок. Сделаны выводы о влиянии толщин покрытий на значения коэффициентов пропускания полученных тонкопленочных структур.

Keywords:

Abstract

The fields of application of aluminum nitride coatings are given. The article briefly describes methods of AlN coatings formation and the equipment for coating by arc deposition of films. Experiments for making these coatings are carried out. The values of transmission coefficient on different wavelengths are measured. Conclusions are drawn about the effect of thin film thickness on transmission coefficient.