Влияние отжига на строение пленок ZnO, выращенных магнетронным распылением

Ключевые слова:

Аннотация

Приведены условия получения реактивным магнетронным распылением пленок ZnO с контролируемым содержанием и строением кристаллической фазы. Изучены состав и строение пленок с использованием растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Показано влияние отжига на строение пленок ZnO.

Keywords:

Abstract

The conditions for obtaining ZnO films with a controlled content and structure of the crystal phase by reactive magnetron sputtering are presented. The composition and structure of films are studied using scanning electron microscopy, atomic force microscopy and x-ray diffraction. The influence of heat treatment on the structure of ZnO films is shown.